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「钱能处理全部」的土豪逻辑，面临EUV这台被喻为「外星科技」的调集体时，只会撞得头破血流。
我国现在调集几百个挖角来的前ASML我国籍工程师，目的仿制这项从研制初期至今、全球累积超越数十万名顶尖大脑的才智总和。
即使咱们退一万步，供认一个或许性，那便是我国倾尽举国之力，乃至透过各种渠道凑齐了零件，真的在上海或北京的某个无尘室里，拼装出了一台「长得像」EUV的机器。它有巨大的白色外壳，有传送晶圆的轨迹，乃至开机时还会宣布相似的工作声。但这台机器的命运，注定只能是一个贵重的工业模型，而不是能印钞票的EUV。
把特斯拉拆散了，或许能依样画葫芦造出能跑的电动车；但把ASML的EUV拆散了，你只能得到一堆几十亿价值的废铁。这不是关于单一零件的逆向工程，这是一场关于「极限整合」与「隐性常识」的物理学障碍赛。
一般人看EUV，只看到德国蔡司的镜头、美国Cymer的光源。这当然没错，但这仅仅冰山浮在水面上的那一角。真实让ASML难以被仿制的，是它怎样让这十万个来自全球不同供货商的尖端零件，在奈米标准的国际里完美协作。
幻想一下这个场景：你要用雷射在几十公尺外击中一颗正在坠落的苹果，并且要接连击中五万次。这还不行，这颗苹果自身还在一个十分快速地旋转的转盘上。这便是EUV内部的真实写照。
除了光学体系，EUV内部有必要保持「极度真空」。由于极紫外光的波长极短，空气中任何一点气体分子都会把光线吸收殆尽。这在某种程度上预示着ASML有必要打造一个比外层空间还要洁净的真空腔体，并且在这个腔体内，还有高速移动的工件台在运作。
要在晶圆上刻电路，晶圆台移动的速度快得惊人，且急停急煞的加速度极大。我国现在连在常压下操控这种精度的机械手臂都还不稳定，更别提在真空中使用磁悬浮技能，去驱动两个重达几吨的工件台进行「华尔兹」。这两个台子一个在曝光，另一个在丈量，互相切换的时间是以毫秒核算，差错有必要操控在奈米等级。
只需轰动略微大一点点，或许磁悬浮的操控算法略微慢了0.001秒，雷射就会打偏，整片价值数万美元的晶圆就直接报销。这种「动态整合才干」，不是买几张蓝图就能学会的。
如果说硬件是骨架，那软件便是魂灵。这正是我国最无力感叹的时间：即使他们透过高薪挖角，找来了那些从前参加拼装的前ASML我国工程师，也杯水车薪。这些人或许能凭仗回忆，教你怎样把这堆杂乱的乐高积木拼起来；他们看过图纸，知道骨架怎样搭、外壳怎样锁，乃至能完美复刻出机台的物理外型。但这便是极限了。由于他们抄到了肉体，却注定抄不到魂灵。
这台机器体内工作着超越5000万行的操控程序码，比一架波音787客机还要巨大且杂乱。这套软件体系不是单纯的「开关操控」，它是一套具有自我批改才干的超级大脑。
EUV运作时会发生高热，镜头会热膨胀，机台会微幅变形。ASML的传感器遍及机身，实时监控这些细小的物理变化，并透过算法实时调整镜头方位与雷射功率进行补偿。
我国现在的窘境在于，他们或许能写出操控机械手臂动作的程序，但无法写出这种「根据几十年物理数据累积」的补偿算法。这一些数据是ASML在曩昔三十年里，透过无数次失利累积下来的「工业直觉」。没有这些参数，光有硬件，就像给了一个刚拿到驾照的新手一台F1赛车，他连起步都会熄火。
它是ASML与全球顶尖客户（尤其是台积电）一起「养」出来的怪兽。一台新机器的原型机往往充溢缺点，只要放到台积电这种对良率有着反常要求的工厂里，24小时不间断地工作，才干暴露出躲藏的问题。
台积电的工程师会发现ASML自己都没发现的Bug，比方某个特定视点的曝光会形成边际含糊，或是某个频率的轰动会影响对准精度。这些来自第一线的「反应数据」，是ASML批改机器、优化下一代产品的营养。这是一个正向循环：台积电用得越多，ASML改得越好；ASML改得越好，台积电良率越高。
反观我国，现在的现状是连上一代的DUV微影机都还没能彻底吃透，良率操控依然是个谜。在没有顶尖制程回馈数据的情况下，我国工程师要随便打造出EUV的操控逻辑，这不叫研制，这叫瞎子摸象。
连走路（DUV）都还会跌倒，就想要学飞（EUV），越想弯道超车，最终越或许翻车。
我国或许能用钱砸出光学镜片，也能挖角工程师做出雷射光源，乃至能拼装出一个外型如出一辙的EUV空壳。但那个结合了德国光学、美国光源、荷兰体系整合，以及台湾制程工艺的杂乱生态系，是无法被单一国家复刻的。
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