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电子净化工程的规划应遵从工艺优先、分区清晰、流线合理、安全牢靠的底子准则。规划进程需严厉根据《电子工业洁净厂房规划规范》(GB50472)和ISO 14644系列规范，一起满意特定电子科技类产品的出产的根本工艺要求。规划应最大极限地考虑洁净度操控、温湿度精度、防静电等特别技能要求。
中心工艺设备应安置在洁净度最高的区域，设备距离需考虑操作保护空间。物料暂存区、设备修理区应设置在较低洁净等级区域，并经过气闸室与中心区相连。
清晰区分原资料区、出产区、制品区、检测区等功能区域。各区域之间设置物理间隔，防止穿插污染。特别区域如化学品间、特气间应独立设置，并配备专用通风体系。
人员净化道路应设置换鞋→更外衣→洗手→穿洁净服→风淋的递进式净化流程。不同洁净等级区域设置独立的更衣室，高档别区域更衣室应设置在前端。
物料传递途径是物料经外清间→传递窗→缓冲间进入洁净区。大型设备设置专用设备出入口，废弃物设置专用出口通道。物料流线应防止与人员流线穿插。
高档别洁净区选用笔直单向流，送风天花满布率不低于60%。低等级区域选用非单向流，合理安置送风口和回风口方位。作业区截面风速操控在0.45±0.1m/s。
温度操控精度：22±1℃;相对湿度操控精度：45±5%;体系应具有快速呼应才能，温湿度动摇规模不允许超出设定值的±10%。
树立独立的防静电接地体系，接地电阻≤1Ω。一切设备金属外壳、管道支架等均需牢靠接地。防静电地坪体系电阻操控在1×10^6~1×10^9Ω。
作业台面选用防静电资料，离子风机安置在要害工位。人员配备防静电服装、手腕带等防护配备。要点区域设置静电监测报警装置。
电子净化工程装饰经过科学合理的规划，可认为电子科技类产品制作供给较为牢靠的出产环境，一起保证出产的悉数进程的安全性和经济性。主张在规划阶段选用BIM技能进行三维模仿，优化空间布局和管线归纳。
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